電子工業有機廢氣VOCs的排放，對大氣質量、人體健康以及周邊生活環境的危害都較大，對該類污染物進行有效控制和治理問題也愈發重要。電子工業從產品產業鏈劃分，自上而下分為電子整機產品、電子基礎產品和電子專用材料三個層次。其中涵蓋：電子專用材料、半導體器件、電子元件及印制電路板、光電器件和電子終端產品等5個方面。

電子工業是VOCs排放的主要行業之一，電子工業廢氣VOCs排放種類有30多種，組分復雜。電子工業廢氣VOCS主要來源于對電子產品的表面涂層工藝環節所用溶劑型涂料和清洗工藝環節所用有機溶劑所致。電子工業廢氣VOCS常見的種類有：異丙醇、丁酮、甲苯、醋酸丁酯、甲醇、乙醇、丙酮、二甲苯、丙二醇單甲醚、苯乙烯、乙酸乙酯、正丁醇、甲基異丁基甲酮、二氯甲烷、環已酮、乙苯、正庚烷、甲氫呋喃、三氯乙烯和氯仿等。

一般來說，廢氣排放中風量較大，VOCs濃度較低。半導體工藝過程中有機廢氣具有排放流量大(通常大于11000m3/h)和濃度低(通常小于25ppmv)的特點，電子工業廢氣VOCs排放中還含有酸性氣體、堿性氣體和一些有毒氣體。

揮發性有機物(VOCs)排放量大、濃度低、成分復雜，常見有機廢氣治理方法如：焚燒、吸附、冷凝、生物膜法、低溫等離子、光催化氧化等，單獨運用或無法達成經濟高效運行，或不能滿足嚴苛的排放標準。

電子廠廢氣處理方法
（1）預處理階段：一般采用噴淋塔先對廢氣進行預處理，去除粉塵以及易溶于水的有害氣體。

（2）主要處理階段：在此階段，比較常見而有效方法有：UV光解，生物過濾分解，焚燒和催化燃燒等。

這幾種方式各有優劣，根據大多數電子廠廢氣的情況，在這里我們主要推薦和介紹活性炭濃縮+蓄熱式催化燃燒系統去除VOCs氣體的方案。

活性炭濃縮+催化燃燒法

（1）活性炭濃縮

即采用活性炭吸附裝置來對廢氣進行濃縮。由于電子廠廢氣具有風量大，濃度低的特點，而催化燃燒系統在啟動運行時，對能源的消耗較大，如果預處理后的氣體先通過活性炭吸附到達一定濃度后，再進入催化燃燒系統，相對于直接進入催化燃燒系統，將可以大大的節省能源的消耗。

活性炭吸附器又可稱為活性炭吸附器、活性炭吸附過濾器、活性炭吸附箱。是一種廢氣過濾吸附異味的環保設備產品，活性炭吸附塔塔體可用不銹鋼、碳鋼、PP板等材質制作。活性炭吸附塔具有吸附效率高、適用面廣、維護方便、能同時處理多種混合廢氣等優點，活性炭具有去除甲醛、苯、TVOC等有害氣體和消毒除臭等作用。

有機廢氣氣體由風機提供動力，正壓或負壓進入活性炭吸附器塔體，由于活性炭固體表面上存在著未平衡和未飽和的分子引力或化學健力，因此當此固體表面與氣體接觸時，就能吸引氣體分子，使其濃聚并保持在固體表面，污染物質從而被吸附，活性炭吸附到一定時間后，即可進入脫附流程，脫附后的氣體即是濃縮后的vocs氣體

（2）蓄熱式催化燃燒系統(RCO)

催化燃燒是典型的氣—固相催化反應，它借助催化劑降低了反應的活化能，使其在較低的起燃溫度200～ 300℃下進行無焰燃燒，有機物質氧化發生在固體催化劑表面，同時產生CO2和H2O，并放出大量的熱量，因其氧化反應溫度低，所以大大地抑制了空氣中的N2形成高溫NOx。而且由于催化劑有選擇性催化作用，有可能限制燃料中含氮化合物(RNH)的氧化過程，使其多數形成分子氮(N2)。

蓄熱式催化燃燒，相對于普通的催化燃燒設備，增加了熱量循環裝置，設備啟動一定時間后，可大大降低對電量的消耗，為工廠省下大量的電費。