一般情況下，晶片制造沸石轉輪的再生溫度為180-200℃，在此溫度下，高沸點的二甘醇胺等物質不能有效地從沸石轉輪內脫附，然后逐步積累在滾筒內。

通過對沸石轉輪系統高沸點物質集合情況的研討，發現在沸石轉輪系統運行1個月后，滾筒內的確存在較大數量的有機物集合，其集合量約為6wt%。經有效高溫脫附后，有機物質的積累量可削減40%~60%左右。結果表明，高溫脫附能較好地去除沸石轉輪中高沸點有機物。

假如高溫脫附溫度挑選過高，則會對沸石分子篩的骨架結構構成一定影響，然后影響分子篩的使用壽命。主張選用300℃左右高溫脫附，且相應的沸石轉輪內部配件均需選用可耐300℃高溫的密封配件。

晶片制造工業中常用的有機資料一般都有很好的水溶性，可以用水洗再生的辦法去除沸石轉輪中集合的高沸物。
水洗再生能有效地提高沸石轉輪系統的管理功率，對工廠而言，水洗再生次數達到4~6次/年時，管理功率可達95%~99%。所以，恰當增加定期水洗再生頻率，可以有效地防止沸石轉輪內高沸點物質的集合，堅持高管理功率。
分子篩在陶瓷纖維紙外表涂布，通常是用無機粘結劑來制造沸石轉輪，因而當水洗時，不只沸石分子篩不會出現龜裂變形，而且也不會出現因分子篩掉落而構成的功能下降，使用壽命縮短等問題。

但水洗時要注意水質情況，假如水中含有很多的鈣、鎂等離子，就會在沸石內部構成碳酸鹽，阻塞了沸石轉輪中的蜂窩狀孔道；水中微量重金屬物質、氯等也會對沸石構成毒化。

需要指出的是，并非所有沸石轉輪資料都耐水洗，企業在水洗再生前，應向沸石轉輪設備制造商做好相關咨詢工作。

各企業在停機檢修理期間，選用高壓空氣吹掃沸石轉輪。但由于VOCs有機物通常吸附在分子篩孔洞內，不能被有效地去除，需要選用高壓空氣吹掃來清除沸石轉輪外表附著的塵埃，并應與上述處理辦法配合使用。